微型壓力傳感器精度如何保證

    現在很多傳感器都向著微型化發展，微型傳感器更方便我們安裝，但是我們在研制微型傳感器的時候如何確保他/她的精度是一個很大的難題，以壓力傳感器為例，很多地方都需要微型壓力傳感器，但同時也需要高精度的壓力傳感器，生產出高精度微型壓力傳感器顯得很重要。

    微型壓力傳感器采用壓電單晶片結構，并內置前置放大器，通過放大器放大微弱信號并實現阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時，對于微壓傳感器精準度的檢驗這一技術難題，就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。

    對于微型壓力傳感器來說，靈敏度和線性度是微型壓力傳感器最重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器，必需探索出一種微型壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中，發現一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現了在滿量程范圍內不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計，在此基礎上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。

    為了確保微型壓力傳感器精度，我們如需從各個角度進行優化，除了上面介紹的以為。在結構上，綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優點，采用雙島-梁結構等等。