熱傳導真空計校準的具體操作步驟是什么

一、校準前準備

1. 設備與工具檢查

• 確認待校準熱傳導真空計（以下簡稱 “被校計"）外觀完好，熱絲無斷裂、松動，電路連接正常（通電后能正常顯示）。

• 準備標準真空計（精度需高于被校計 1~2 個等級，如被校計允許誤差 ±10%，標準計需≤±5%）、真空系統(tǒng)（包括真空泵、真空閥門、管道、真空規(guī)管接口）、恒溫裝置（控制環(huán)境溫度 20±2℃，避免溫度波動影響熱傳導）。

• 檢查真空系統(tǒng)的氣密性：關閉所有閥門，抽真空至 1Pa 以下，靜置 30 分鐘，壓力上升率應≤0.1Pa/h（確保無泄漏）。

2. 環(huán)境與參數(shù)設定

• 校準環(huán)境需無強電磁干擾、振動（振幅＜0.1mm），相對濕度≤60%。

• 被校計與標準計需提前通電預熱（按說明書要求，通常 30~60 分鐘），確保電路穩(wěn)定。

二、校準系統(tǒng)連接

1. 機械連接

• 將被校計的規(guī)管與標準計的規(guī)管通過三通或多通接口并聯(lián)接入同一真空腔體（確保兩者測量的是同一壓力點，減少管路死體積影響）。

• 連接真空泵（如旋片泵 + 擴散泵組合，覆蓋熱傳導真空計的量程，通常 10?~10?1Pa），在管道中安裝微調閥門（用于精確調節(jié)腔內壓力）。

2. 電氣連接

• 分別連接被校計與標準計的電源、信號線，確保兩者正常顯示壓力值（若為數(shù)字式，需記錄小數(shù)點后至少 3 位；指針式需估讀至最小刻度的 1/10）。

三、校準點選擇與壓力調節(jié)

1. 確定校準點

• 覆蓋被校計的全量程，按均勻分布原則選取 5~7 個點（如量程 10?~10?1Pa，可選 10?Pa、10?Pa、103Pa、102Pa、101Pa、10?Pa、5×10?1Pa）。

• 優(yōu)先選擇量程內的關鍵節(jié)點（如滿量程的 10%、50%、90%），確保高、中、低壓力段均被覆蓋。

2. 調節(jié)壓力至校準點

• 啟動真空泵，先抽至系統(tǒng)極限真空（低于被校計最小量程），再通過微調閥門緩慢通入干燥氮氣（或空氣，需無油、無塵），逐步升高壓力至第一個校準點（如 10?Pa，即大氣壓附近）。

• 穩(wěn)定壓力：每個校準點需保持壓力波動≤±2%（如 103Pa 校準點，波動需≤±20Pa），靜置 5~10 分鐘，待被校計與標準計示值穩(wěn)定后再記錄數(shù)據(jù)。